等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器。本工艺在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：

(1) 电场+电子→   电子

(2)    电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基 团

(3) 活性基团+分子(原子)→生成物+热

(4) 活性基团+活性基团→生成物+热

从以上过程可以看出，电子   先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，   电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。

等离子废气净化器跟吸附脱附催化燃烧废气处理设备相比具有明显的运行成本优势和价格优势。

等离子废气净化器的一些技术特点：

1、“低温等离子体”设备属产品，自动化程度高，工艺简洁，操作简单，方便.无需专人看管，遇故障自动停机报警。

2、节能：运行费用低廉是“低温等离子体”核心技术之一，处理5000M3/h臭气，耗电量仅1000W。

3、适应范围广：在高温350℃，低温-20℃的环境内，净化区均可运转，特别是在潮湿，甚至空气湿度饱和的环境下仍可正常运行。

4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、环氧树脂等材料组成，   性强，在酸性气体中。使用寿命长达10年以上。

5、“低温等离子体”设备内使用电压在36伏以下，   ，对人体不构成任何伤害。

6、“低温等离子体”设备组合性强：可以窜并联混合应用，在处理异味气体时能发挥明显优势。